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實聯精密化學股份有限公司
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SHIHLIEN FINE CHEMICAL CO., LTD.
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分析能力
分析能力
實聯精化長期專注於電子特氣材料市場發展,為台灣唯一在地化垂直整合生產、製造、灌充及具有分析能力之製造商。
本公司分析實驗室的測試與校正能力通過ISO/IEC 17025認證,具有精準的線上分析儀器,確保最終產品質量。
設置分析節點︰
IQC(Incoming Quality Control,進料檢驗)、
IPQC(In Process Quality Control,製程品管)、
FQC(Final Quality Control,成品檢驗),
依其需求設置不同的GC分析系統 (Gas chromatography,氣相色譜儀)。
設置PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,電漿輔助化學氣相沉積系統),用以模擬半導體產業之晶圓薄膜製程。
高潔淨無塵室class 100,以HR-ICP-MS(High-Resolution Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry,高解析感應耦合電漿質譜儀)進行微量金屬分析實驗,其金屬不純物的分析可達到半導體客戶—台積電之ppt(10
-12
)等級要求。
GC
PECVD
HR-ICP-MS
分析實驗室
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