矽甲烷(Silane)

 
產品矽甲烷(Silane)
化學式SiH4
介紹矽甲烷廣泛運用於半導體、面板、太陽能產業，做為生成絶緣層、導體層及半導體層之重要原料。
純度≧ 99.9999%（6N）
鋼瓶A式鋼瓶：47L / 12KG   
   Y式鋼瓶：440L / 125KG  
 槽車: 2700KG - 5800KG
閥件CGA632
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