一氯矽烷(MCS)

產品	一氯矽烷(MCS)
化學式	SiH₃Cl
介紹	MCS為生成TSA之主要原料之一，TSA普遍使用於20奈米以下半導體之STI製程中
純度	≧ 99%（2N）
鋼瓶	Y式鋼瓶：470L / 230KG
閥件	雙閥P&M / CGA636